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表面形貌觀測介紹

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表面形貌觀察與測量的意義

①材料表面的微觀幾何形貌特性在很大程度上影響著它的許多技術性能和使用功能。

②觀察材料表面形貌,為研究樣品形態結構提供了便利,有助于監控產品質量,改善工藝。


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表面形貌觀測應用范圍

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材料、電子、無鉛焊接、機械加工、半導體制造、航空、汽車、陶瓷品、地質學、醫學、冶金等。


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表面形貌觀測手段

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1、掃描電子顯微鏡進行形貌觀察的主要內容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度及顆粒度的分布、物相的結構等。

2、光學顯微鏡主要應用于工裝檢具、金屬件等的檢定,電子產品組裝、偏移、焊接異常檢驗,PCB/PCBA線路、防焊、孔、零件對準度以及文字圖形缺陷檢驗。

3、AFM全稱Atomic Force Microscope,即原子力顯微鏡,它是應用范圍廣,可用于表面觀察、尺寸測定、表面粗糙測定、顆粒度解析、突起與凹坑的統計處理、成膜條件評價、保護層的尺寸臺階測定、層間絕緣膜的平整度評價、VCD涂層評價、定向薄膜的摩擦處理過程的評價、缺陷分析等。在飛秒檢測做AFM測試對樣品有以下幾點要求:(1)對象可以是有機固體、聚合物以及生 物大分子等。(2)樣品大小一般不超過 1cm,高度也應控制在 1cm 以下,樣品表面起伏不超過 15μm。(3)測試薄膜厚度應控制在 15μm 以下。

4、輪廓測量儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器。


檢測標準

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常用標準(部分)

JYT 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則;

GB/T 16594-2008 微米級長度的掃描電鏡測量方法通則;

IPC-6012 剛性印制板的鑒定及性能規范;

IPC-A-610電子組件的可接受性;

JIS B 0601-2013產品幾何量技術規范(GPS)表面結構輪廓法.術語、定義和表面結構參數。


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