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華南檢測新聞|日立超高分辨率冷場掃描電鏡投入運(yùn)營
發(fā)布日期：2022-06-17閱讀量：2856
本月，公司新購的全新日立SU8220冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡開始安裝調(diào)試運(yùn)營，并依據(jù)設(shè)備采購合同所詳列的各項(xiàng)內(nèi)容，逐項(xiàng)對(duì)設(shè)備的各項(xiàng)功能及技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行現(xiàn)場檢測。最終，經(jīng)試運(yùn)行，設(shè)備性能穩(wěn)定，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到合同要求，設(shè)備及其配件以及相關(guān)操作說明資料齊全，設(shè)備各功能及性能指標(biāo)的測試結(jié)果均符合合同要求。
該設(shè)備的性能指標(biāo)如下：分辨率： 0.8nm（加速電壓15KV，工作距離4.0mm），1.1nm（著陸電壓1KV，工作距離1.5mm，減速模式），放大倍率：20--100萬倍，可研究納米尺度的微觀形貌；配置X-MaxN牛津能譜儀，晶體有效采集面積不小于150mm2，能譜分辨率達(dá)125eV，可以分析10納米左右的微區(qū)元素成份。
至此，我公司電鏡實(shí)驗(yàn)室又添新成員，該設(shè)備的購置將為更多院校、科研機(jī)構(gòu)，企業(yè)提供更優(yōu)質(zhì)的SEM、EDS電鏡檢測服務(wù)。
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