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電子顯微鏡的種類有哪些？

電子顯微鏡按結構和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、場發射電子顯微鏡等。他們各自有不同的用途，透射式電子顯微鏡常用于觀察那些用普通顯微鏡所不能分辨的細微物質結構；掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形貌，也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結合，構成電子微探針，用于物質成分分析；發射式電子顯微鏡用于自發射電子表面的研究。

掃描式電子顯微鏡：掃描電子顯微鏡（scanning electron microscope，SEM）于20 世紀60 年代問世，目前分辨力可達6～10 nm。其工作原理是由電子槍發射的精細聚焦電子束經兩級聚光鏡、偏轉線圈和物鏡射到樣品上，掃描樣品表面并激發出次級電子，次級電子的產生量與電子束入射角有關，即與樣品的表面結構有關。次級電子經探測體收集后，由閃爍器轉換為光信號，再經光電倍增管和放大器轉變為電信號來控制熒光屏上電子束的強度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標本的表面結構。掃描電鏡的標本在檢驗前，需進行固定、脫水處理，再噴涂上一層重金屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發出次級電子信號。

透射電子顯微鏡，簡稱TEM,其主要是靠穿透樣品的電子束進行成像放大的，樣品內部的結構是通過空間密度不同反映出來的，密度大的地方阻擋和吸收的電子多，透過電子少;結構稀疏處密度小，透過電子多。這樣在透射電子束的橫截面上電子密度的疏與密的分布便對應了樣品結構密度的密與疏的關系，也就是說，透過電子束的密度變化也包含了樣品結構的信息，見圖4-2(a)。 透射式電鏡研制最早，使用最為廣泛。具有以下幾個特點：①成像分辨率最高，現在研制的TEM 已達到0.1nm;②對樣品厚度有一定要求，通常在30～50nm左右。太厚則電子束不易穿透 ,無法滿足觀察和拍攝時對亮度的要求，且樣品結構重疊過多，會影響影像清晰度;樣品太薄則影響對電子束照射轟擊的耐受性，造成熱損傷和污染;③放大率的范圍相對來說較窄，由于透射工作方式的特點，一般不能從高倍率連續變化到很低的倍率，通常在幾百倍以下放大時必須更換透鏡的工作方式(由儀器自動切換)。